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瑞银:中国未来十年难以追赶ASML极紫外光微影技术

瑞银集团分析师发布报告指出,中国半导体制造能力在未来10年内仍难以赶上荷兰ASML的尖端极紫外光(EUV)微影技术1。根据专利活动判断,中国目前的技术成熟度约相当于ASML 2004年的发展阶段1。

报告指出,美国主导的芯片设备出口限制措施阻碍了中国的技术进展1。不过瑞银预计,中国将在2至5年内具备大规模制造深紫外线(DUV)微影机的能力1。此外,路透社7月底曾引述消息人士证实中国开始生产国产DUV设备1。


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