美国研究机构科技与国家治理能力中心发布报告称，中国晶圆厂截至2026年初预计已获得343台浸润式DUV微影系统，其中270台来自荷兰ASML公司的Twinscan NXT:1980i系统。该报告指出，2024年及2025年间，中国晶圆厂在这类设备上的支出超过130亿美元。